Sputtering Components, Inc.

首页 | 关于SCI  | 到 SCI驾车指引|产品|下载|相关链接|销售和服务|展会计划|新闻

首页

关于SCI

到SI车指

驾车

产品

下载

相关链接

销售和服务

展会计划

新闻

e-Cathode™旋转阴极

SCI 公司的 e-Cathode™ 对于原始设备制造商或需要升级的系统来说，是交钥匙方案。

· 集成 PLC

· 6” LCD 触摸屏输入

· 通用数字接口

· 用户可选的数据接口：Ethernet, profibus, DH+, 及更多…

· 全功能互锁

· 可选择的快切高压连接

· 可用户定制的阴极端头安装方式

SCI公司的e-Cathode™适用于任何镀膜系统。

 

新系统安装

ü 适用于单端头，双端头或四端头的配置

ü 适用于侧面安装式阴极

ü 用户提出系统要求

ü SCI 解决方案完善用户系统

ü 交钥匙方案

 

升级现有的阴极盖板

ü 在现有盖板上增加SCI公司的阴极端头和 e-Cathode™ 的电子部分

ü 可利用现有设施

ü 不需要更换电源，布气系统或者阳极

 

转换到双旋转阴极

ü 替换现有的平面阴极

ü 设计紧凑，可适用于狭窄的安装槽

ü 提高现有真空室的产能

ü 提高质量和靶材利用率

 

SCI 公司的e-Cathode™

· 可自行控制，可编程

· 可在阴极盖板上实现对阴极参数的监视和控制

· 可用任何品牌的PLC进行通讯

· 适用于现有的数据总线

· 配备自动防故障装置

· 可快速安装及拆除

· 适用于任何真空室深度，不需改变靶材和基片之间的距离

优点

 

特性

创新设计

Download data sheet (.pdf)