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TRiM-Bar Plus™ 磁铁阵列

SCI 公司的 TRiM-Bar™ 为客户提供多种解决方案。  提供封装好的磁铁组件，可根据客户工艺需求提供磁铁阵列。

· 精选性能一致, 高强度的磁铁进行全密封防水封装

· 创新磁路设计, 溅射定向性好, 最大限度地避免了散射对真空室造成的污染

· 采用可靠的单自由度多点支撑系统, 可实现向任意方向的溅射

· 可对磁条进行微调以保证工艺的一致性

SCI 公司的 TRiM-Bar™

 

新系统安装

ü 适用于各种旋转磁铁系统

 

升级现有的磁铁阵列

ü 可实现同其他主要制造商的互换

ü 可适用于其他阴极端头系统

 

提升性能

ü 优化一致性

ü 优化材料利用率

ü 在使用同一磁条的情况下,同时优化材料利用率和一致性

SCI 公司的 TRiM-Bar™ 磁铁阵列

特性

· 一致性: +/- 2%; 更佳的一致性和材料利用率

· 更高的沉积率, 更少的缺陷

· 可适用于更厚的靶材; 增加在线时间, 延长维护周期

· 使用寿命长, 无需维护

· 可向上或者向下溅射

优点

创新设计

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