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Sputtering Components, Inc. |
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新闻 |
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SM系列 侧面安装式阴极端头 |
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SM系列侧面安装式旋转阴极采用SC系列阴极端头同样的专利技术，采用紧凑型设计，传递非凡的性能，无与伦比的可靠性和卓越的价值。 |
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SCI 公司 SM 系列专利技术侧面安装式旋转阴极 |
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· 适合各种真空室设计 · 高功率下无感应发热，无电刷产生的粉尘 · 设计紧凑, 双靶筒只需350mm的安装空间 · 驱动马达可上置，下置或横置，内置或外置 · 维护时间短 · 可实现复合溅射, 更致密的等离子耦合, 溅射定向性好 · 保持真空室干燥, 减少抽气时间, 工艺更稳定 · 简便的现场维护
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优点 |
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· 可订制的驱动轴长度 · 拥有功率传输的专利技术 · 紧凑型设计 · 灵活的装配方式 · 密封组件便于拆装 · 可从外部调节磁铁阵列倾角 · 先进的靶筒排水特性 · 设计简便，零件少，可靠性高
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特性 |
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SCI 公司侧面安装式的旋转阴极适用于新系统或现有系统。
侧面安装的好处 ü 阴极端头上所有的设施都在真空室外 ü 换靶时阴极端头部分仍然安装在真空室上 ü 与传统阴极端头相比，可以覆盖更宽的玻璃面积
安装在新系统上 ü SCI公司紧凑的设计，给真空室设计带来更大的灵活性，能够在系统中安装更多的阴极。 ü 可集成TRiM-Bar™磁铁阵列和e-Cathode™ 电子总成
设备改造 ü 紧凑与灵活的设计，可适用于任何形式的真空系统 ü 真空室改造和系统集成技术支持 ü 在同一个安装槽中实现平面阴极和侧装式旋转阴极的互换
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创新设计 |
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型号 |
功率 |
V/A |
靶材长度 (mm) |
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SM |
最大 200kW DC 或者 80 kHz MFAC |
1000v/450A |
最长 4000 |