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SC系列 阴极端头 |
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SCI公司的SC系列阴极端头满足行业标准尺寸，是低成本，高功率，高稳定的阴极端头。 |
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SCI公司的SC系列阴极端头可以安装在任何新的镀膜生产线上或者替代现有的阴极端头。
安装在新系统上 ü 可以单独销售阴极端头, 阴极端头和SCI公司的TRiM-Bar™ 磁铁阵列或者完整的e-Cathode™ 阴极系统，包含驱动及相关功能—即装即用。
替换现有的阴极端头 ü 适用于任何长度的系统 ü 不需要对阴极盖板进行任何改造 ü 可利用现有设施 ü 不需要更换电源，布气系统或者阳极 ü 可保留现有磁铁阵列或者升级到SCI公司的TRiM-Bar™磁铁阵列 ü 适用于现有的靶材设计
升级平面阴极到旋转阴极 ü 在不增加真空室的情况下，提高现有镀膜生产线的产能和质量。
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SCI 公司的SC系列专利阴极端头 |
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· 高可靠性 · 最简便的安装或改造 · 可实现快速换靶 · 一小时内可完成阴极端头重新组装 · 超低的维护成本 · 可适用于任何靶材供应商的靶材 · 无感应发热导致的不良影响 · 无微流腐蚀
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优点 |
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· 拥有功率传输的专利技术 · 独特的靶筒安装方式 · 持久的真空密封 · 标准阴极盖板安装方式 · 适用于各种靶材设计 · 先进的靶筒排水特性 · |
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特性 |
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创新设计 |
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Sputtering Components, Inc. |
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型号 |
功率 |
V/A |
靶材长度 (mm) |
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SC |
最大 200kw DC 或者 80 kHz MFAC |
1000v/450A |
最长 4000 |