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MM系列侧面安装式阴极端头

 SCI 公司 MM 系列专利技术侧面安装式旋转阴极

· 适合各种真空室设计

· 高功率下无感应发热，无电刷产生的粉尘

· 设计紧凑, 双靶筒只需350mm的安装空间

· 驱动马达可上置，下置或横置，内置或外置

· 维护时间短

· 可实现复合溅射, 更致密的等离子耦合,  溅射定向性好

· 保持真空室干燥, 减少抽气时间, 工艺更稳定

· 简便的现场维护

优点

· 可订制的驱动轴长度

· 拥有功率传输的专利技术

· 紧凑型设计

· 灵活的装配方式

· 密封组件便于拆装

· 可从外部调节磁铁阵列倾角

· 先进的靶筒排水特性

· 设计简便，零件少，可靠性高

特性

创新设计

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联系我们:

电话: 507-455-9140

传真: 507-455-9148

E-mail: ihuang@sputteringcomponents.com

SCI 公司侧面安装式的旋转阴极适用于新系统或现有系统

 

侧面安装的好处

ü 阴极端头上所有的设施都在真空室外

ü 换靶时阴极端头部分仍然安装在真空室上

ü 与传统阴极端头相比，可以覆盖更宽的玻璃面积

 

安装在新系统上

ü SCI公司紧凑的设计，给真空室设计带来更大的灵活性，能够在系统中安装更多的阴极。

ü 可集成TRiM-Bar™磁铁阵列和e-Cathode™ 电子总成

 

设备改造

ü 紧凑与灵活的设计，可适用于任何形式的真空系统

ü 真空室改造和系统集成技术支持

ü 在同一个安装槽中实现平面阴极和侧装式旋转阴极的互换

 

 

 

MM系列侧面安装式旋转阴极采用MC系列阴极端头同样的专利技术，采用紧凑型设计，传递非凡的性能，无与伦比的可靠性和卓越的价值。