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Sputtering Components, Inc. |
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新闻 |
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MC系列 阴极端头 |
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SCI公司的MC系列阴极端头设计紧凑，性能优异，可靠性很高 |
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SCI 公司的 MC 系列专利阴极端头 |
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优点 |
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· 拥有功率传输的专利技术 · 独特的靶筒安装方法 · 持久的真空密封 · 紧凑型设计 · 适用于各种靶材设计 · 先进的靶筒排水特性 |
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特性 |
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SCI 公司的 MC 系列阴极端头可以安装在任何新的镀膜生产线上。紧凑型设计，易于将平面阴极升级为双旋转阴极。
安装在新系统上 ü 可以单独销售阴极端头, 阴极端头和SCI公司的TRiM-Bar™ 磁铁阵列或者完整的e-Cathode™ 阴极系统，包含驱动及相关功能 — 即装即用。
升级平面阴极到旋转阴极 ü 在不增加真空室的情况下，提高现有镀膜生产线的产能和质量。 |
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· 高可靠性 · 安装简便 · 可实现快速换靶 · 一小时内可完成阴极端头重新组装 · 超低的维护成本 · 可适用于任何靶材供应商的靶材 · 无感应发热导致的不良影响 · 无微流腐蚀
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创新设计 |
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型号 |
功率 |
V/A |
靶材长度 (mm) |
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MC |
最大 100kW DC 或者 80 kHz MFAC |
1000v/225A |
最长 2000 |